普旭真空泵系統設計與制作

真空系統。是由真空泵、PLC程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的

成套真空系統。目前，該系統廣泛應用于電子半導體業(yè)、光電背光模組、機械加工等行業(yè)。

該真空系統出廠時已經包括了抽速控制、進氣過濾、主要運行數據顯示、運行保護及遠程控制接口

等。只需要在現場進行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空系統。該真空系統的控制系

統由先進的PLC控制系統經過編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實現對真空系統、工件行走、磁控靶、

工藝設定和執(zhí)行、報警保護系統等的全自動化控制。

真空應用設備種類繁多，但無論何種真空應用設備都有一套排除被抽容器內氣體的抽氣系統，以便在

真空容器內獲得所需要的真空條件。舉例說明：一個真空處理用的容器，用管道和閥門將它與真空泵

連接起來，當真空泵對容器進行抽空時，容器上面有真儂測量裝置，這就構成了一個真空抽氣系統。